EDS，也就是能量分散型X線分光器，是指把電子線照射到試料上，通過檢出產(chǎn)生的特性X線來分析試料所含元素的裝置。作用是通過電子線照射試料激發(fā)的特性X線的能量測定得到光譜，從而可以進(jìn)行試料表面元素。

  那么，EDS的工作原理是怎么樣的呢？又能檢測什么呢？

  若對半導(dǎo)體檢出器射入X線，可以生成與X線能量相當(dāng)數(shù)量的電子-正孔對，通過測定此數(shù)量（電流）可以知道X線的能量。檢出器為了減少電氣雜音，利用液氮冷卻，特征是可以同時測定從B到U的的X線。

1. 數(shù)千ppm等級的定量精度

  檢出精度根據(jù)元素不同而有所差異，大概為數(shù)千ppm（個數(shù)％）等級。檢出界限為1500ppm～2000ppm。

2. 色彩映射

  用色彩映射可以表示出在被分析試料的哪里、存在哪種元素、以及元素量是多少。

3. 多元素的同時測定

  因?yàn)榭梢酝瑫r測定B～U的元素，所以可以用于篩選未知元素。

4. 短時間內(nèi)的分析

  因?yàn)榭梢酝瑫r對多元素進(jìn)行測定，所以可以在短時間內(nèi)實(shí)施定性定量分析、色彩映射。

5. 低真空模式下的分析

  通過通用SEM的低真空模式，在容易揮發(fā)氣體的試料和絕緣性試料的無蒸鍍觀察方面發(fā)揮威力。