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EDS

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1

簡(jiǎn)介

能量分散型X線分光器(EDS)是把電子線照射到試料上,通過(guò)檢出產(chǎn)生的特性X線來(lái)分析試料所含元素的裝置。通過(guò)電子線照射試料激發(fā)的特性X線的能量測(cè)定得到光譜,從而可以進(jìn)行試料表面元素分析。

2
特長(zhǎng)

1.數(shù)千ppm等級(jí)的定量精度

?檢出精度根據(jù)元素不同而有所差異,大概為數(shù)千ppm(個(gè)數(shù)%)等級(jí)。檢出界限為1500ppm~2000ppm。

2.色彩映射

?用色彩映射可以表示出在被分析試料的哪里、存在哪種元素、以及元素量是多少。

3. 多元素的同時(shí)測(cè)定

?因?yàn)榭梢酝瑫r(shí)測(cè)定B~U的元素,所以可以用于篩選未知元素。

4. 短時(shí)間內(nèi)的分析

?因?yàn)榭梢酝瑫r(shí)對(duì)多元素進(jìn)行測(cè)定,所以可以在短時(shí)間內(nèi)實(shí)施定性定量分析、色彩映射。

5.低真空模式下的分析

?通過(guò)通用SEM的低真空模式,在容易揮發(fā)氣體的試料和絕緣性試料的無(wú)蒸鍍觀察方面發(fā)揮威力。

3
分析原理

若對(duì)半導(dǎo)體檢出器射入X線,可以生成與X線能量相當(dāng)數(shù)量的電子-正孔對(duì),通過(guò)測(cè)定此數(shù)量(電流)可以知道X線的能量。檢出器為了減少電氣雜音,利用液氮冷卻,特征是可以同時(shí)測(cè)定從B到U的X線。

4
分析用途

1.合金層觀察

?合金層組織比和有無(wú)形成合金層

?合金層厚度

2.異物分析

?基板附著異物

?filter和roller等制造工序異物

3.電鍍的斷面觀察

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