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EBSD

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一

簡介

背散射電子衍射分析法（Electron Back Scattering Diffraction Pattern）是可以測定結(jié)晶性材料（金屬和陶瓷等）的結(jié)晶方位（結(jié)晶的方向）的裝置。

二
特長

木材的纖維方向（木紋）不同則強度不同，結(jié)晶材料與此類似，結(jié)晶材料的組織構(gòu)造具有方向，根據(jù)方向不同性質(zhì)也不同。

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背散射電子衍射法是（以下稱EBSD）為了獲取結(jié)晶性材料的結(jié)晶方位信息（針對結(jié)晶的信息）的便利的手法。

如果使用EBSD的話，可以知道僅靠光學顯微鏡和SEM觀察無法得到材料的結(jié)晶方位信息。　

雖然組織解析的裝置有好幾種，但是EBSD與其他裝置相比，可以在短時間內(nèi)進行廣范圍的高解像度測定。

三

分析原理

在SEM中，用電子線照射70°傾斜的樣品，通過電子的背散射（反射電子），可以得到衍射線路。

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此線路是電子線照射點，即結(jié)晶實格子直接投影得到的物體，將線路篩選并通過放映軟件進行分析，可以得到那個地方的結(jié)晶方位信息。

接下來通過掃描測定點評價全測定范圍線路，由此得來的方位信息用圖像顯示，可以視覺確認結(jié)晶方位信息。

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四

設備介紹

image.png?使用軟件：TSL OIM Data Collection6 / TSL OIM Analysis 6

?制造商：株式會社TSL solutions

?可測定樣品尺寸：最大32ｍｍΦ

?樣品表面狀態(tài)：除去表面異質(zhì)層，如果表面不平滑無法進行測定。

?可測定結(jié)晶尺寸：50nm以上

?方位差精度：0.5°

五

分析用途

EBSD可以測定帶有結(jié)晶構(gòu)造的材料。但是，因為向SEM裝置的真空槽導入和電子束照射有影響，也存在測定困難的情況。



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